布魯克斯SLA5800 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器
SLA5800 系列的特點(diǎn)是高精度、高零點(diǎn)穩(wěn)定性以及高重復(fù)性，而上述特性正是行業(yè)者對(duì)質(zhì)量流量測(cè)量和控制技術(shù)的需求所在。產(chǎn)品設(shè)計(jì)采用先進(jìn)的可配置多氣體/多量程功能，相較于競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品擁有更好的零點(diǎn)漂移參數(shù)并且經(jīng)確證能夠更持久地保持出廠校準(zhǔn)狀態(tài)和精度。
型號(hào)： SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

特點(diǎn)

長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%

高精度

流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm

最高耐壓等級(jí) - 高達(dá) 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）

可編程多氣體/多量程功能

可單獨(dú)輕松訪問(wèn)的診斷/維護(hù)端口

包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模擬接口在內(nèi)的各種通信選擇

采用模塊化設(shè)計(jì)，無(wú)論在工廠或是現(xiàn)場(chǎng)使用均非常易于維護(hù)

優(yōu)勢(shì)

傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性可降低對(duì)維護(hù)和定期校準(zhǔn)的要求，從而降低總體經(jīng)營(yíng)成本

布魯克斯儀器的熱感測(cè)技術(shù)可提供的信噪比性能從而提升低設(shè)定值條件下的測(cè)量和控制精度

選擇一個(gè)設(shè)備平臺(tái)即可滿足不同氣體和流量范圍的需求

可存儲(chǔ)并預(yù)先設(shè)定多達(dá)六種氣體校準(zhǔn)信息，用戶僅需一臺(tái)設(shè)備即可在不同氣體和量程間輕松切換并減少庫(kù)存

對(duì)用戶開放的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了安裝、故障排除和診斷操作并且不會(huì)干擾流量控制器工作

耐用、穩(wěn)定的金屬頂蓋可防止設(shè)備在安裝期間受損

多協(xié)議通信接口可簡(jiǎn)化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

基于國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的高級(jí)計(jì)量系統(tǒng)和初級(jí)校準(zhǔn)系統(tǒng)可確保設(shè)備精度

應(yīng)用

化學(xué)品和石化催化劑研究和試驗(yàn)過(guò)程

實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

燃料電池技術(shù)

生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

規(guī)格：
產(chǎn)品類型：Mass Flow Controller
區(qū)別：Wide Flow & Pressure RangeSuperior Long-term Stability High Accuracy
性能
流量范圍-滿量程容量：003 - 2500 slpm
精度：

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20-100% FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20-100% FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

重復(fù)性：0.20% SP
線性：Included in accuracy
響應(yīng)時(shí)間-常閉：

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

多氣體多量程：Standard
最大壓力：

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

控制范圍：

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.
零點(diǎn)穩(wěn)定性:< 0.2% F.S. per year
溫度系數(shù):

Zero: <0.05% of F.S per oC

Span: <0.1% of S.P. per oC

壓力系數(shù):0.03% per psi (0-200 psi N2)
靈敏度:<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing
大溫度:65oC
壓差范圍:

Controllers

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

漏率:1x10-9 atm cc/sec He
密封材料:Elastomer Seal
接液材料:316L Stainless SteelHigh Alloy Stainless SteelViton® FluoroelastomersBunaNKalrez®Teflon®/Kalrez®EPDM
閥門:Normally ClosedNormally OpenMeter (no valve)

診斷

診斷能力Available

狀態(tài)燈

MFC Health, Network Status

報(bào)警

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

診斷/服務(wù)端口RS485 via 2.5mm jack

電氣

模擬通訊

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

數(shù)字通訊DeviceNet™

EtherCAT®

EtherNet/IP™

FOUNDATIONTM Fieldbus

Profibus®

PROFINET

RS-485 

電氣連接

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

電源-功耗

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts

承諾

認(rèn)證和批準(zhǔn)

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC Directive 2014/30/EU

Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):

Class I, Div 2, Group A, B, C, D

Class I, Zone 2, IIC T4

Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

符合環(huán)保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

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